光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜、制备方法、制备系统...
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摘要
本发明提供一种光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜、制备方法、制备系统及光电倍增管，其制备过程包括：首先真空环境下，在光电倍增管玻璃光窗的内表面镀制一层金属薄膜；在含氮气氛环境下，进行辉光放电离子氮化，使所镀的金属薄膜被氮化成为金属氮化物薄膜，所述金属氮化物薄膜为宽带隙金属氮化物薄膜，禁带宽度大于4.2eV。本发明提出的金属氮化物增透膜可有效提高光电倍增管的量子效率，同时通过本发明的转移式双工位的光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜的制备系统，可在一个钟罩下的两个工位的切换，实现金属薄膜的镀制和对金属薄膜的辉光离子氮化，快速实现光电倍增管光窗的金属氮化物增透膜的制备。
基本信息
专利标题 ：
光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜、制备方法、制备系统及光电倍增管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111261488A
申请号 ：
CN202010077421.X
公开（公告）日 ：
2020-06-09
申请日 ：
2020-01-29
授权号 ：
CN111261488B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
司曙光王亮孙建宁任玲金睦淳王兴超张昊达侯巍吴凯王丛杰
申请人 ：
北方夜视技术股份有限公司
申请人地址 ：
云南省昆明市经济技术开发区红外路5号
代理机构 ：
南京行高知识产权代理有限公司
代理人 ：
王菊花
优先权 ：
CN202010077421.X
主分类号 ：
H01J43/08
IPC分类号 ：
H01J43/08 H01J43/28 H01J9/12 H01J9/24 C23C8/36 C23C14/18 C23C14/58
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J43/00
二次发射管；电子倍增管
H01J43/04
电子倍增器
H01J43/06
电极装置
H01J43/08
阴极装置
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2020-07-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 43/08
申请日 : 20200129
申请日 : 20200129
2020-06-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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