一种数字微流控基板及数字微流控芯片

授权

摘要

本实用新型实施例提供了一种数字微流控基板及数字微流控芯片，涉及微流控技术领域。本实用新型实施例通过在第一基板上设置驱动晶体管和驱动电极，且驱动晶体管的漏极和驱动电极同层设置且一体成型。在制作驱动晶体管的漏极时，可同时制作得到与漏极同层设置且一体成型的驱动电极，使得在制作数字微流控基板时，可减少了两次沉积、两次曝光和两次刻蚀工艺以及减少两张掩膜板的使用，使得数字微流控基板的制作工艺更为简单，制作成本大大降低；且无需形成过孔跳线，提高了驱动电极的平坦度，有利于液滴的驱动。

基本信息

专利标题：

一种数字微流控基板及数字微流控芯片

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920547711.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-19

授权号：

CN210279192U

授权日：

2020-04-10

发明人：

庞凤春蔡佩芝

申请人：

北京京东方传感技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司

申请人地址：

北京市大兴区经济技术开发区西环中路8号2幢C区3层C-301、C-302

代理机构：

北京润泽恒知识产权代理有限公司

代理人：

莎日娜

优先权：

CN201920547711.9

主分类号：

B01L3/00

IPC分类号：

B01L3/00