数字微流控芯片
授权
摘要
本实用新型提供一种数字微流控芯片，其包括有源矩阵薄膜晶体管阵列基板、分立式疏水膜、上盖板、疏水膜以及注入在所述分立式疏水膜和疏水膜之间的液滴和硅油；所述有源矩阵薄膜晶体管阵列基板包括多个薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括栅极、覆盖所述栅极的栅介电层、位于所述栅介电层上且位于所述栅极上方的沟道区、分别位于所述沟道区两侧且均与所述沟道区接触的源极和漏极；所述漏极和栅极均投影到同一个平面时漏极和栅极之间存在间距。本实用新型偏置漏极的AM‑TFT阵列基板可以提高数字微流控芯片的工作电压，工作电压可以根据应用需求可调，提高了系统的通用性；分立式疏水膜用完可以直接撕下来扔掉、更换；本实用新型数字微流控芯片可以重复利用、节约成本。
基本信息
专利标题 ：
数字微流控芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122866108.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-22
授权号 ：
CN216354218U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
程鑫刘荣跃刘嘉泽行亚茹詹绍虎李婕
申请人 ：
南方科技大学
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号
代理机构 ：
深圳市惠邦知识产权代理事务所
代理人 ：
满群
优先权 ：
CN202122866108.7
主分类号 ：
H01L27/12
IPC分类号 ：
H01L27/12
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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