有源矩阵数字微流控芯片基板
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摘要
本实用新型公开了一种有源矩阵数字微流控芯片基板，包括基板和设置在基板上的晶体管；晶体管的源极、源极引出线、漏极、漏极引出线同层设置于基板上，源极和源极引出线为一体成型结构，漏极和漏极引出线也为一体成型结构，有源层设置于源极和漏极之间；位于源极、源极引出线、漏极、漏极引出线和有源层上表面涂覆有绝缘层，绝缘层上表面设置有栅极引出线，位于有源层位置处设置有栅极，栅极和栅极引出线为一体成型结构；栅极和栅极引出线上表面涂覆有介电层，介电层上表面涂覆有疏水层。本实用新型避免了传统有源矩阵数字微流控芯片基板采取底栅结构的源级、漏极在制作时对有源层蚀刻的影响，大大提高了晶体管器件的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
有源矩阵数字微流控芯片基板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022308169.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-16
授权号 ：
CN212396773U
授权日 ：
2021-01-26
发明人 ：
霍亚洲杨柳青吴玥张东锋刘聪王超
申请人 ：
安图实验仪器（郑州）有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市经济技术开发区第十五大街199号
代理机构 ：
郑州异开专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
韩华
优先权 ：
CN202022308169.7
主分类号 ：
B01L3/00
IPC分类号 ：
B01L3/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01L
通用化学或物理实验室设备
B01L3/00
实验室用的容器或器皿，如实验室玻璃仪器；点滴器
法律状态
2021-01-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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