承载装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种承载装置，包括：密封组件、可升降组件、吸盘；密封组件用于与吸盘形成密封空间，可升降组件设置在密封空间内用于对承载在吸盘上的晶圆进行升降，密封组件与吸盘接触的面中设置有第一密封圈。本实用新型的承载装置中，可升降组件设置在密封空间内用于对承载在吸盘上的晶圆进行升降，密封组件与吸盘接触的面中设置有第一密封圈，第一密封圈用于可升降组件对晶圆进行升降操作时，第一密封圈保证密封组件与吸盘接触面之间的密封性，防止漏气，简单方便实用。
基本信息
专利标题 ：
承载装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920615113.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-29
授权号 ：
CN209843684U
授权日 ：
2019-12-24
发明人 ：
张朝前马砚忠李少雷陈鲁
申请人 ：
深圳中科飞测科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
代理机构 ：
深圳市港湾知识产权代理有限公司
代理人 ：
微嘉
优先权 ：
CN201920615113.0
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-02-26 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/683
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳中科飞测科技有限公司
变更后 : 深圳中科飞测科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
变更后 : 518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳中科飞测科技有限公司
变更后 : 深圳中科飞测科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
变更后 : 518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
2019-12-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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