承载装置
授权
摘要
本实用新型实施例提供了一种承载装置，包括：承载本体、支撑部件以及多个固定部件；其中，所述承载本体中设置有镂空结构；所述支撑部件固定在所述承载本体的表面上；利用清洗液对所述承载本体上的半导体器件进行清洗时，通过所述多个固定部件将所述半导体器件分别固定在所述支撑部件的至少一侧，且所述清洗液能够从所述镂空结构中排出。
基本信息
专利标题 ：
承载装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022437288.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-28
授权号 ：
CN213878059U
授权日 ：
2021-08-03
发明人 ：
卢倩文杜晓琼
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 ：
张李静
优先权 ：
CN202022437288.2
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/67 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-08-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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