承载装置

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摘要

本实用新型涉及检测设备领域，具体涉及一种承载装置，包括第一承载组件和包围第一承载组件的第二承载组件，第一承载组件与第二承载组件的承载面齐平，承载面用于与待吸附物接触；第一承载组件包括真空吸盘和包围真空吸盘的承载环，其中，第一承载组件的真空吸盘用于为待吸附物提供吸附力，承载环用于支撑待吸附物；第二承载组件包括支撑部，支撑部用于支撑待吸附物。本实用新型使用时通过第一承载组件上的真空吸盘为待吸附物提供吸附力，同时通过承载环和/或第二承载组件的支撑部支撑待吸附物，能够对不同尺寸待吸附物的承载，该承载装置具有较高的兼容性。

基本信息

专利标题：

承载装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921672923.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-30

授权号：

CN210743929U

授权日：

2020-06-12

发明人：

李海卫张鹏斌张凌云范铎陈鲁

申请人：

深圳中科飞测科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301

代理机构：

深圳市港湾知识产权代理有限公司

代理人：

刘向英

优先权：

CN201921672923.6

主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/683 H01L21/687