导电性球检查修复装置
授权
摘要
本实用新型的导电性球检查修复装置能够获得多个照明功能；本实用新型具备检查装置(2)和修复装置(3)；检查装置(2)具有主检查部(20)；主检查部(20)具有照相机、透镜以及照明装置；照明装置在主检查部(20)的照相机及透镜与工件(W)之间沿着垂直方向、即Z方向配置有三层；三层的照明装置分别对工件(W)的检查部位及其周围进行照明；其结果是，本实用新型能够获得多个照明功能。
基本信息
专利标题 ：
导电性球检查修复装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920661464.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-09
授权号 ：
CN209822602U
授权日 ：
2019-12-20
发明人 ：
内藤健治川上朋来北川大辅
申请人 ：
爱立发株式会社
申请人地址 ：
日本国长野县诹访市大字四贺2970番地1
代理机构 ：
北京智晨知识产权代理有限公司
代理人 ：
张婧
优先权 ：
CN201920661464.5
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/66 H01L21/677 H05K3/34
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2019-12-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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