一种载板及钝化设备

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型涉及钝化处理技术领域，公开一种载板及钝化设备。所述载板包括用于容纳工件的容置位，所述容置位上沿所述载板的厚度方向设置有至少两个容置槽，沿所述厚度方向由上至下所述容置槽的面积依次减小，工件可选地放置于任一个所述容置槽中。本实用新型通过设置面积不等的容置槽，能够容纳不同尺寸的工件，提高载板的通用性。

基本信息

专利标题：

一种载板及钝化设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920661953.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-09

授权号：

CN209544295U

授权日：

2019-10-25

发明人：

刘裕通王其林

申请人：

盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请人地址：

江苏省盐城市盐城经济技术开发区漓江路66号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN201920661953.0

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 H01L31/18

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/673

使用专用的载体的

法律状态

2021-02-26 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : H01L 21/673
变更事项 : 专利权人
变更前 : 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司
变更后 : 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 224000 江苏省盐城市盐城经济技术开发区漓江路66号
变更后 : 224000 江苏省盐城市盐城经济技术开发区漓江路66号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司

2019-10-25 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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