载板翻转装置及镀膜设备
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型涉及镀膜设备技术领域,提供一种载板翻转装置及镀膜设备,载板翻转装置包括底座,所述底座的边侧设有第一支撑件,所述第一支撑件上设有托盘,所述托盘的一端部可旋转的与所述第一支撑件的端部连接,所述托盘的第一侧面用以固定载板,所述托盘的第二侧面与伸缩件的驱动端连接,所述伸缩件的固定端安装在所述底座上;镀膜设备包括以上所述的载板翻转装置。通过安装在底座上的伸缩件作用于托盘的第二侧面,托盘的端部与底座的第一支撑件的端部铰接,载板固定在托盘的第一侧面上,伸缩件的伸缩动作带动托盘绕铰接部位旋转,进而翻转载板,由水平改为竖直或者由竖直改为水平,结构简单,操作方便,保证镀膜质量,提高生产效率。

基本信息
专利标题 :
载板翻转装置及镀膜设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921070743.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-10
授权号 :
CN210458356U
授权日 :
2020-05-05
发明人 :
王建新
申请人 :
东泰高科装备科技有限公司
申请人地址 :
北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
代理机构 :
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 :
魏雪梅
优先权 :
CN201921070743.0
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-02-12 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/50
登记生效日 : 20210202
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 东泰高科装备科技有限公司
变更后权利人 : 紫石能源有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 102200 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
变更后权利人 : 102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611
2020-05-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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