光学镀膜多角度伞架及包含该伞架的镀膜机
授权
摘要
本实用新型涉及光学镀膜领域，公开了一种光学镀膜多角度伞架及包含该伞架的镀膜机，该伞架为若干扇形伞片固定在伞骨上组成的伞状结构，每个所述伞片中均包括扇形支架（1）和至少一个用于放置镀膜托盘（2）的支板（3），各所述支板（3）之间相互平行，各所述支板（3）的一端分别转动连接在所述支架（1）的一侧，且通过角度限位机构（4）限位固定，另一端均为自由端；在蒸镀时，所述镀膜托盘（2）上的待镀膜光学器件（5）的待镀膜表面与蒸发源垂直设置。本中的伞架能够保证固定在其上的待镀膜光学器件的待镀膜表面与下方的蒸发源均为垂直关系，有效避免蒸镀时出现膜欠或膜偏缺陷，提升产品良率。
基本信息
专利标题 ：
光学镀膜多角度伞架及包含该伞架的镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920723069.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-20
授权号 ：
CN210163519U
授权日 ：
2020-03-20
发明人 ：
黄永达
申请人 ：
江苏光腾光学有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区淮河东路188号404室
代理机构 ：
淮安市科文知识产权事务所
代理人 ：
廖娜
优先权 ：
CN201920723069.5
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/30 G02B1/10 C23C14/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-03-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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