可承载分片的石墨舟

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了一种可承载分片的石墨舟，包括：通过两对平置陶瓷棒串接在一起的一排竖置石墨舟片；石墨舟片设有：两排用于安装卡点的安装孔；该两排安装孔的竖向间距小于硅片的边长，且该两排安装孔的竖向间距不小于硅片边长的一半；同一排且相邻的两个安装孔，它们的间距为硅片边长的1/60；同一排中安装孔的数量不少于30个；上述两对陶瓷棒位于该两排安装孔的外围。本实用新型的石墨舟，其既能承载硅片整片，又能承载该硅片整片所分割出的分片。本实用新型石墨舟，其既能承载硅片整片，又能承载该硅片整片所分割出的分片。

基本信息

专利标题：

可承载分片的石墨舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920725237.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-21

授权号：

CN209691734U

授权日：

2019-11-26

发明人：

王博文孟祥熙彭泽明

申请人：

常州时创能源科技有限公司

申请人地址：

江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920725237.4

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 H01L31/18

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/673

使用专用的载体的

法律状态

2020-04-07 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : H01L 21/673
变更事项 : 专利权人
变更前 : 常州时创能源科技有限公司
变更后 : 常州时创能源股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
变更后 : 213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号

2019-11-26 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

暂无PDF文件可下载