一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置

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摘要

本实用新型公开了一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，安装在沉积炉底部且打砣机顶部安装的石英支撑杆穿过该装置伸入到沉积炉内，用于维持砣料沉积面及附近温度不变，该装置包括支撑板，设置于所述沉积炉底部；风箱，设置与所述支撑板下部；以及进风机构，设置在所述风箱外侧与其内部导通；其中，所述支撑板和风箱与沉积炉内部贯通且贯通区域截面尺寸大于石英支撑杆的直径。本实用新型提供了一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置，通过风箱和进气机构维持砣料沉积面及附近温度不变，使砣料直径均匀生长，避免产生周期结束后，砣料存在直径差异，同时减少下一工序中的损耗量，从而提高产品质量。

基本信息

专利标题：

一种用于石英玻璃沉积炉的保温进风装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920746568.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-23

授权号：

CN209957642U

授权日：

2020-01-17

发明人：

高运周鹿云龙李建均

申请人：

四川神光石英科技有限公司

申请人地址：

四川省绵阳市江油工业园区创元路南段科技孵化园

代理机构：

成都欣圣知识产权代理有限公司

代理人：

王海文

优先权：

CN201920746568.6

主分类号：

C03B20/00

IPC分类号：

C03B20/00