一种石英玻璃沉积炉用炉罩
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摘要

本实用新型公开了一种石英玻璃沉积炉用炉罩,用于对沉积炉进行隔离防护,炉罩包括上罩体,具有加料孔和操作视窗,设置在沉积炉顶部外,用于对沉积炉的燃烧器进行隔离;下罩体,具有安装孔和看火窗,设置在沉积炉侧壁外,用于对沉积炉的炉体进行隔离;以及排气机构,设置在所述上罩体和下罩体外,用于对所述上罩体和下罩体内部的尾气排放;所述上罩体位于下罩体上方,其底端与下罩体顶端连接;所述下罩体内壁与沉积炉的炉体侧壁之间存在间隙。炉罩还包括补气机构,用于对所述上罩体和下罩体内部补充气体。本实用新型提供了一种石英玻璃沉积炉用炉罩,解决了现场环境热散失和氯化氢气体扩散的问题,改善了生产环境,减少了对设备及人员的危害。

基本信息
专利标题 :
一种石英玻璃沉积炉用炉罩
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920754115.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-23
授权号 :
CN209940828U
授权日 :
2020-01-14
发明人 :
鹿云龙高运周李建均
申请人 :
四川神光石英科技有限公司
申请人地址 :
四川省绵阳市江油工业园区创元路南段科技孵化园
代理机构 :
成都欣圣知识产权代理有限公司
代理人 :
王海文
优先权 :
CN201920754115.8
主分类号 :
C03B20/00
IPC分类号 :
C03B20/00  C03B19/14  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C03
玻璃;矿棉或渣棉
C03B
玻璃、矿物或渣棉的制造、成型;玻璃、矿物或渣棉的制造或成型的辅助工艺
C03B20/00
生产石英或熔凝硅石制品的专用方法
法律状态
2020-01-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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