一种薄膜腔声谐振滤波器

授权

摘要

一种薄膜腔声谐振滤波器，包括器件主部分，盖帽部分，第一层金属层，压电层，金属层，第二层压电层，键合金属，吸气薄膜，通孔部分，焊接凸点，腔体一，腔体二；其中：盖帽部分内部上面设置有吸气薄膜，盖帽部分上带有通孔部分，焊接凸点位于通孔部分上方；第二层压电层、金属层和键合金属设置在器件主部分和盖帽部分之间，器件主部分和盖帽部分之间通过键合工艺结合在一起；第一层金属层和压电层设置在器件主部分上，腔体一位于器件主部分内，腔体二位于盖帽部分内，均为刻蚀工艺形成。本实用新型的优点：方案结构合理，产品可靠性得到了很大提高，简化了制备工艺，提高产品质量。

基本信息

专利标题：

一种薄膜腔声谐振滤波器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920749416.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-23

授权号：

CN209897019U

授权日：

2020-01-03

发明人：

黄向向杨敏道格拉斯·雷·斯巴克斯关健

申请人：

罕王微电子（辽宁）有限公司

申请人地址：

辽宁省抚顺市经济开发区北厚西出口21#楼（一层）

代理机构：

沈阳晨创科技专利代理有限责任公司

代理人：

张晨

优先权：

CN201920749416.1

主分类号：

H03H9/56

IPC分类号：

H03H9/56 H03H9/58 H03H3/02