一种蚀刻液循环利用装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种蚀刻液循环利用装置，包括回收槽、位于所述回收槽两端的处理槽以及控制台；其中：所述回收槽为两端均可开闭式结构，所述回收槽一侧通过导管与外部机构连接，另一侧设置有酸碱测试仪，所述酸碱测试仪的检测头位于所述回收槽内；所述处理槽数量为两个且分别与所述回收槽两端对应，所述处理槽一侧设置有第一高压泵，另一侧设置有第二高压泵，所述第一高压泵与外部溶液罐连接，所述第二高压泵能够将蚀刻液添加至外部机构；所述控制台与所述酸碱测试仪、第一高压泵、第二高压泵均电性连接。本实用新型能够快速对蚀刻液进行处理，实现蚀刻液的快速循环利用，提高循环效率，最终提高蚀刻液的使用效率。
基本信息
专利标题 ：
一种蚀刻液循环利用装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920751039.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-23
授权号 ：
CN209974896U
授权日 ：
2020-01-21
发明人 ：
董旭
申请人 ：
昆山智祥隆电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇国际模具城模具设备区6号楼27室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920751039.5
主分类号 ：
C23F1/46
IPC分类号 ：
C23F1/46
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/46
蚀刻组合物的再生
法律状态
2020-01-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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