循环蚀刻装置

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型涉及一种循环蚀刻装置，包括蚀刻槽、循环管路和注液管路，所述蚀刻槽用于蚀刻晶圆；所述循环管路的两端均与所述蚀刻槽连通，循环管路内的液体单向导通，用于循环过滤蚀刻液；所述注液管路与所述蚀刻槽连通。通过设置循环管路的机械结构，使循环管路内的液体只能沿着设定的方向单向流动，防止液体逆流或泄露，从而保证湿法蚀刻的效果和质量。

基本信息

专利标题：

循环蚀刻装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922060106.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-26

授权号：

CN211555832U

授权日：

2020-09-22

发明人：

周建

申请人：

中芯集成电路制造（绍兴）有限公司

申请人地址：

浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

石慧

优先权：

CN201922060106.1

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

法律状态

2021-08-20 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : H01L 21/67
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
变更后 : 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
变更后 : 312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号

2020-09-22 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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