应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置
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摘要
本实用新型揭示了应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，包括桥架在运转台上的负压抽液机构，负压抽液机构包括若干相间隔设置的负压抽液管、及负压动力源，负压动力源的出料端设有蚀刻液回收舱，负压抽液管与运转台的台面相平行且与运转台运行方向相垂直设置，负压抽液管上设有若干负压抽液管口，若干负压抽液管口线性相间隔排列。本实用新型通过负压抽液机构的设计，能将板材上的余量蚀刻液抽离，满足板材上蚀刻液的均匀性需求，提高产品蚀刻质量，同时实现余量蚀刻液的循环回收。负压抽液管具备防回流腔设计，提高了负压抽液管口负压抽吸力的稳定性，进一步提高了板材上蚀刻液的均匀性，产品蚀刻精度提升较为显著。
基本信息
专利标题 ：
应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020604024.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-21
授权号 ：
CN212128303U
授权日 ：
2020-12-11
发明人 ：
吴辉旺李军
申请人 ：
昆山弗莱吉电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省昆山市玉山镇锦淞路399号
代理机构 ：
北京国坤专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵红霞
优先权 ：
CN202020604024.9
主分类号 ：
C23F1/08
IPC分类号 ：
C23F1/08 C23F1/46
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/08
装置，如照相印刷制版装置
法律状态
2020-12-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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