本实用新型涉及新型真空蚀刻设备，包括蚀刻箱和设备箱，所述设备箱的内部固定安装有离心式风机，所述离心式风机的出风口和进风口分别连通有气体回流管和主真空吸管，所述蚀刻箱的内部固定安装有上喷盘和下喷盘，所述上喷盘和下喷盘相对的一侧均固定安装有与其内部相连通的喷嘴。本实用新型采用高流量、高负压、耐腐蚀和可变频的离心式风机有效解决现有对药水抽取过程中真空度不稳定的问题，可以避免局部吸取失效造成良品率下降的问题；通过设置气液分离器可以有效保证了药水的重复利用；通过离心式风机将蚀刻箱内的气体进行抽取的同时利用气体回流管送入蚀刻箱内，保证了蚀刻箱内部气压稳定。