一种真空水平式蚀刻机
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空水平式蚀刻机，主要包括外框、供气泵、顶电极、均气板、底电极和真空泵，所述外框内侧中部设置有开口向前的加工腔，所述外框位于加工腔内侧上部固定安装有顶电极，所述外框位于加工腔内侧下部固定安装有底电极，底电极顶端侧壁固定安装有等距排列的凸块，凸块顶端设置为弧形。本实用新型在结构上设计合理，设备采用大电极板，配合双重均气设备，使得酸性空气与线路板的接触均匀程度更好，配合易更换的酸气清洁部件和简单高效的换气设备，使得装置加工更加高效。
基本信息
专利标题 ：
一种真空水平式蚀刻机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021064996.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-09
授权号 ：
CN212727580U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
廖鑫郭明亮易先德
申请人 ：
珠海安普特科技有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市斗门区井岸镇新青科技工业园新青路37号（厂房C栋）1楼左
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021064996.X
主分类号 ：
H05K3/06
IPC分类号 ：
H05K3/06
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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