显影真空蚀刻装置
授权
摘要
本实用新型公开了显影真空蚀刻装置，包括液筒、丝杆和轨道条，所述液筒的正面外壁安装有观察窗，且观察窗的外壁设置有刻度线，所述液筒的左右两侧外壁均固定有基板，且基板的外侧安置有连接板，所述连接板的外侧安装有连杆的一端，且连杆的另一端安装有滚珠滑台，所述丝杆连接于滚珠滑台的内部，且丝杆的顶端安装有伺服电机，所述液筒的底部连接有出液管，且出液管的右侧安装有加压泵，所述出液管的下端连接有喷头，所述轨道条安装于观察窗的右下角，且轨道条的外侧连接有滑块。该装置可以在液筒内部蚀刻液用量低于液位传感器的位置时，便进行报警提醒，方便工作人员及时补充，有效避免蚀刻液不足的问题。
基本信息
专利标题 ：
显影真空蚀刻装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021943295.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN213186730U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
李沃辉欧维文
申请人 ：
东莞佳创多层线路板有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市高埗镇冼沙村二下坊广场北路1栋1楼之1
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021943295.3
主分类号 ：
H05K3/06
IPC分类号 ：
H05K3/06
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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