真空显影装置

授权

摘要

本实用新型提供了一种真空显影装置，它解决了显影液交换速率慢导致的显影效果不佳，显影液利用率低等问题。其包括具有内腔的显影箱体，显影箱体内设有用于放置具有上板面和下板面的板体的水平输送机构，水平输送机构上方和/或下方分别依次设有若干喷管，喷管一侧分别具有若干朝向板体的上板面和/或下板面的喷嘴，水平输送机构上方和/或下方固定或可活动地设有风刀组件，风刀组件具有朝向板体的上板面或下板面的风口，且各个风刀组件均与一个设置在显影箱体上端的第一级水汽分离装置相连，且第一级水汽分离装置通过第二级水汽分离装置和抽风机相连。本实用新型具有显影液交换率高，显影液利用充分等优点。

基本信息

专利标题：

真空显影装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921439317.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-30

授权号：

CN210983030U

授权日：

2020-07-10

发明人：

白耀文石林国柯雪丽廖晓川

申请人：

衢州顺络电路板有限公司

申请人地址：

浙江省衢州市衢江区绿色产业集聚区百灵中路1号

代理机构：

浙江永鼎律师事务所

代理人：

陆永强

优先权：

CN201921439317.X

主分类号：

G03F7/30

IPC分类号：

G03F7/30 H05K3/06