一种蚀刻设备
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摘要
本申请公开了一种蚀刻设备，所述蚀刻设备包括空压机、储气罐、过滤器、喷淋器及输送带；所述喷淋器包括液体分流盘、气体分流盘及空气雾化喷嘴，且所述液体分流盘及所述气体分流盘固定于所述喷淋器的壳体中；所述空气雾化喷嘴设置在所述喷淋器的下表面；所述喷淋器设置于所述输送带上方；所述过滤器用于过滤通过所述储气罐向所述空气雾化喷嘴输送的气体中的油。本申请中通过使用空气雾化喷嘴对所述线路板充分蚀刻，使蚀刻后得到的线路深浅一致，侧壁平整，此外，本申请还在现有的蚀刻设备的基础上，增设了所述过滤器，滤除空气在空压机内被压缩的过程中混入的油污杂质，所述油污杂质会污染蚀刻液，阻碍所述蚀刻液与基板的接触，导致蚀刻不均匀。
基本信息
专利标题 ：
一种蚀刻设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921311536.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-13
授权号 ：
CN210711751U
授权日 ：
2020-06-09
发明人 ：
刘永谢南海
申请人 ：
广东达源设备科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市东莞松山湖高新技术产业开发区研发一路1号A栋4楼B区
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
王雨
优先权 ：
CN201921311536.X
主分类号 ：
C23F1/08
IPC分类号 ：
C23F1/08 B01D46/00
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/08
装置，如照相印刷制版装置
法律状态
2020-06-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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