一种玻璃晶圆清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种玻璃晶圆清洗装置,包括清洗箱,清洗箱的内部设置有放置框,放置框的内壁之间固定有多个第一隔板、第二隔板,且第一隔板和第二隔板之间十字交叉设置,第一隔板和第二隔板底部均固定有放置板,第二隔板上开设有前后贯穿的第一通孔,第一通孔的内部固定有第一过滤网,放置框的两侧外壁均固定有对称设置的固定块,清洗箱的两侧内壁顶端均开设有对称设置的凹槽,且固定块与凹槽卡接设置。本实用新型能够对多个晶圆进行分开放置,利用超声波进行清洗,避免了相邻晶圆之间的碰撞磨损,提高了实用性,而且能够对清洗后的水源进行过滤吸附处理,进行循环利用,提高了资源利用率。
基本信息
专利标题 :
一种玻璃晶圆清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920766118.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-27
授权号 :
CN210059184U
授权日 :
2020-02-14
发明人 :
徐峥
申请人 :
南阳凯鑫光电股份有限公司
申请人地址 :
河南省南阳市信臣西路569号
代理机构 :
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王志敏
优先权 :
CN201920766118.3
主分类号 :
B08B3/12
IPC分类号 :
B08B3/12 B08B3/14 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的(声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13;使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20;超声波振动用于一般化学、物理,或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-02-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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