研磨仪
授权
摘要
本申请涉及一种研磨仪。所述研磨仪包括基座、驱动装置和清洗装置。所述驱动装置设置于所述基座。所述驱动装置具有输出轴,所述输出轴设置有研磨件。所述清洗装置与所述基座间隔设置,用于清洗所述研磨件。通过所述输出轴能够带动所述研磨件研磨样品,研磨完后,可以直接用所述清洗装置清洗所述研磨件,然后继续使用所述研磨件,能够提高清洗效果和清洗效率。
基本信息
专利标题 :
研磨仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920770629.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-11
授权号 :
CN210037374U
授权日 :
2020-02-07
发明人 :
陈继欣
申请人 :
微思行(北京)科技有限公司
申请人地址 :
北京市海淀区田村路西口畅茜园圣华里4号楼9层9017号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201920770629.2
主分类号 :
G01N1/28
IPC分类号 :
G01N1/28 B08B1/02 B08B1/04 B08B3/02 B08B3/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样;制备测试用的样品
G01N1/28
测试用样品的制备
法律状态
2020-02-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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