微米级颗粒透射电子显微镜样品的制备方法
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摘要
本发明公开了一种微米级颗粒透射电子显微镜样品的制备方法，其包括在聚焦离子束‑扫描电镜双束系统中进行的以下工艺：选取待测的微米尺寸量级的样品颗粒；应用离子束沉积工艺在所述样品颗粒的外表面沉积第一材料，形成包覆所述样品颗粒的保护层；将包覆有保护层的所述样品颗粒焊接到样品载网上；应用离子束切割工艺对包覆有保护层的所述样品颗粒进行切割，在所述样品载网上形成厚度为纳米尺寸量级的测试样品。该方法可以简化微米级颗粒透射电子显微镜样品的制样过程，提升了制样速度，并且提高了制样的成功率。
基本信息
专利标题 ：
微米级颗粒透射电子显微镜样品的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110595848A
申请号 ：
CN201810601158.2
公开（公告）日 ：
2019-12-20
申请日 ：
2018-06-12
授权号 ：
CN110595848B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
刘通黄增立许蕾蕾赵弇斐丁孙安
申请人 ：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
代理机构 ：
深圳市铭粤知识产权代理有限公司
代理人 ：
孙伟峰
优先权 ：
CN201810601158.2
主分类号 ：
G01N1/28
IPC分类号 ：
G01N1/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样；制备测试用的样品
G01N1/28
测试用样品的制备
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2020-01-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 1/28
申请日 : 20180612
申请日 : 20180612
2019-12-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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