本发明公开了一种透射电镜样品的制备方法，该方法包括：固定样品至样品台的载网上；沿旋转轴旋转样品台，旋转轴的延伸方向与样品的待减薄表面的法线方向平行；在样品台的旋转过程中，沿切割方向切割样品，切割方向与待减薄表面所在平面平行。本发明实施例提供的技术方案，在对样品的切割过程中，切割方向始终与待减薄表面所在平面平行，通过改变样品台的旋转角度，能够使切割光束直接以一定角度切割难切割成分后面的部分区域，减少拉痕的出现，使待减薄表面的切割厚度更加均匀，进一步使得制备的透射电镜样品的厚度比较均匀，提升制样成功率；并且由于制备的透射电镜样品厚度比较均匀，也能为后续观察分析提供便利。