芯片式原位透射电镜的样品转移方法

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摘要

公开了一种芯片式原位透射电镜的样品转移方法，包括：利用溶剂将颗粒样品分散为悬浮液，在电镜微栅上滴若干滴悬浮液并烘干，得到微栅样品；将微栅样品放入聚焦离子束仪器FIB中，挑选样品并转移至FIB专用载网上，并使用离子束将样品的一部分减薄，获得载网样品；将载网样品放入透射电子显微镜TEM中，观察载网样品中被减薄的部分，测量载网样品晶带轴相对于实际观察方向的偏转角度α和β；从TEM中取出载网样品，调整载网相对于透射电镜样品杆的面内旋转角度，使载网样品的晶带轴跟着旋转，直到其相对于TEM光轴只剩下偏转角度α；将载网样品转移到FIB中，并利用样品台倾转补偿偏转角度α，将载网样品转移至原位芯片指定位置。

基本信息

专利标题：

芯片式原位透射电镜的样品转移方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113340926A

申请号：

CN202010137518.5

公开（公告）日：

2021-09-03

申请日：

2020-03-03

授权号：

CN113340926B

授权日：

2022-05-20

发明人：

刘效治张庆华时金安谷林

申请人：

中国科学院物理研究所

申请人地址：

北京市海淀区中关村南三街8号

代理机构：

北京市正见永申律师事务所

代理人：

黄小临

优先权：

CN202010137518.5

主分类号：

G01N23/20025

IPC分类号：

G01N23/20025 G01N23/20008