一种蒸发舟调节机构、加热装置及蒸镀机
授权
摘要
本实用新型涉及OLED制造技术领域，公开了一种蒸发舟调节机构、加热装置及蒸镀机。蒸发舟调节机构包括安装组件，安装组件包括夹持部和紧固件，夹持部具有一贯通结构，允许蒸发舟的一端在夹持部的贯通结构内滑动到预期位置，并由紧固件固定，自由滑动的蒸发舟能带动蒸发源一起移动，扩大了蒸发舟的移动距离，能够适应更大范围的不同面积的OLED器件，且结构简单，调节方便。本实用新型提供的加热装置包括上述的蒸发舟调节机构，提供的蒸镀机包括上述的加热装置。
基本信息
专利标题 ：
一种蒸发舟调节机构、加热装置及蒸镀机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920773266.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-27
授权号 ：
CN210122589U
授权日 ：
2020-03-03
发明人 ：
范光华高崇
申请人 ：
江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN201920773266.8
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-03-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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