蒸发源的加热装置和蒸镀设备
授权
摘要
本申请属于蒸镀技术领域，涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。该蒸发源的加热装置，包括加热件，所述加热件用于对蒸发源加热；所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件，多个所述直线段加热件并排设置；相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连。本申请将加热件呈“曲折”状态设置，使得加热件的加热更加均匀，加热效率更高，可以实现更大的加热功率和加热速率，提高了蒸发源内待蒸镀材料的加热效率和质量，提高蒸镀质量。
基本信息
专利标题 ：
蒸发源的加热装置和蒸镀设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922490562.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN212247180U
授权日 ：
2020-12-29
发明人 ：
轩景泉钱海涛王辉马晓宇彭勃尹恩心
申请人 ：
上海升翕光电科技有限公司
申请人地址 ：
上海市金山区夏宁路666弄62号
代理机构 ：
北京汇思诚业知识产权代理有限公司
代理人 ：
冯伟
优先权 ：
CN201922490562.X
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-12-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
