一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机,包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及翻转启闭机构,通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温,靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部,通过腔口直接与真空镀膜室连通;伸缩机构安装在靶腔的壁板上;靶体安装在伸缩机构上,并位于靶腔内;由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动,或收缩回靶腔内;靶门通过翻转启闭机构安装在腔口处,通过翻转启闭机构带动靶门翻转,通过翻转的靶门密封盖合腔口或打开腔口。本实用新型能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。

基本信息
专利标题 :
一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920777374.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-27
授权号 :
CN210711721U
授权日 :
2020-06-09
发明人 :
李志荣李志方潘锐华陈思
申请人 :
东莞市汇成真空科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市大岭山镇颜屋村王园路/2号
代理机构 :
广州知友专利商标代理有限公司
代理人 :
赖智威
优先权 :
CN201920777374.2
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35  C23C14/34  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2020-10-30 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C23C 14/35
变更事项 : 专利权人
变更前 : 东莞市汇成真空科技有限公司
变更后 : 广东汇成真空科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 523820 广东省东莞市大岭山镇颜屋村王园路/2号
变更后 : 523000 广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号
2020-06-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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