一种镀膜机靶头
授权
摘要
本实用新型具体涉及一种镀膜机靶头，包括靶芯、套接于靶芯外的靶轴及依次套接在靶轴上的靶头固定座、靶框、齿轮、固定轴承、油封组件以及油封固定套，所述靶轴上对应设置有靶头固定座套接台、靶框套接台、齿轮套接台、固定轴承套接台、油封组件套接台以及油封固定套套接台。通过在靶轴上依次套接靶头固定座、靶框、齿轮、固定轴承、油封组件以及油封固定套，确保靶头在使用过程中靶轴与油封、油封固定套、靶芯等同心，避免靶轴在使用过程中出现左右摇摆的情形，从而确保油封与靶轴之间的密封性，避免靶头在使用过程中出现漏水的情况，同时还减少油封组件的磨损，延长油封组件的寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜机靶头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921319903.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-15
授权号 ：
CN210394496U
授权日 ：
2020-04-24
发明人 ：
封文炎潘毅林敏姚峰黄李平
申请人 ：
深圳市正和忠信股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区坪地街道佳兴路2号
代理机构 ：
中山市兴华粤专利代理有限公司
代理人 ：
翁晓婵
优先权 ：
CN201921319903.0
主分类号 ：
C23C14/00
IPC分类号 ：
C23C14/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
法律状态
2020-04-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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