一种磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构,其包括滑动套管、动密封组件、直线运动机构和连接板,滑动套管可滑动穿过镀膜机的壁板上的穿孔;靶体固定安装在滑动套管的里端;动密封组件安装在穿孔处,实现动密封;直线运动机构安装在镀膜机的壁板外侧,与滑动套管对应,直线运动方向与滑动套管的滑动方向平行;连接板连接滑动套管的外端和直线运动机构的活动端;直线运动机构通过连接板带动滑动套管作伸缩运动。本实用新型伸缩稳定、密封稳定。
基本信息
专利标题 :
一种磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920777295.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-27
授权号 :
CN210394504U
授权日 :
2020-04-24
发明人 :
李志荣李志方潘锐华陈思
申请人 :
东莞市汇成真空科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市大岭山镇颜屋村王园路/2号
代理机构 :
广州知友专利商标代理有限公司
代理人 :
赖智威
优先权 :
CN201920777295.1
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2020-07-31 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C23C 14/35
变更事项 : 专利权人
变更前 : 东莞市汇成真空科技有限公司
变更后 : 广东汇成真空科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 523820 广东省东莞市大岭山镇颜屋村王园路/2号
变更后 : 523000 广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 东莞市汇成真空科技有限公司
变更后 : 广东汇成真空科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 523820 广东省东莞市大岭山镇颜屋村王园路/2号
变更后 : 523000 广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号
2020-04-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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