通风装置和真空生产设备
授权
摘要
本实用新型涉及一种通风装置和真空生产设备。本实用新型涉及的通风装置具有至少一个用于通风气体的、从通风气体源引至所述通风装置的输入管道并且具有至少一个阀门，其中，所述阀门为了通风能够打开，以使所述通风气体能够沿流入方向流入真空设备的腔室中。此外，本实用新型涉及的真空生产设备具有高产量要求并且具有至少一个腔室。因此本实用新型的目的是，提供一种简单的通风装置，借助该通风装置能够在很大程度上对真空生产设备的锁定室进行快速通风，且破裂情况较少。此目的通过一种通风装置得以实现，其特征在于，通风装置沿流入方向在阀门之前具有蓄压器且在阀门之后具有缓冲容器。
基本信息
专利标题 ：
通风装置和真空生产设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920786516.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-28
授权号 ：
CN210886214U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
马可·弗勒纳亚力山大·波迪克
申请人 ：
梅耶博格（德国）有限责任公司
申请人地址 ：
德国霍亨斯泰因-埃尔恩斯塔尔
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
柳春雷
优先权 ：
CN201920786516.1
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C16/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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