一种用于气相合成石英玻璃坨的氢氧火焰燃烧器

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摘要

本实用新型公开了一种用于气相合成石英玻璃坨的氢氧火焰燃烧器，包括进料管、进料通管、保护管缓冲腔、一层氧气缓冲腔、二层氧气缓冲腔、氢气缓冲腔、外环管缓冲腔、料保护通管、一层氧气室、二层氧气室、氢气室、外环室、一层氧气通管、二层氧气通管、料保护管、一层氧气管和二层氧气管、氢气管和外环管，在外环管缓冲腔下方设置惰性气体缓冲腔，与惰性气体缓冲腔导通的惰性气体室以及惰性气体管，所述惰性气体室与外环室呈同心圆结构形式布置并位于外环室外侧。本实用新型提供了一种用于气相合成石英玻璃坨的氢氧火焰燃烧器，解决原有氢氧火焰燃烧器在立式CVD工艺中，容易在燃烧器端口的外沿积料掉玻璃态瘤子，严重降低石英玻璃坨质量的问题。

基本信息

专利标题：

一种用于气相合成石英玻璃坨的氢氧火焰燃烧器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920787116.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-29

授权号：

CN210048651U

授权日：

2020-02-11

发明人：

何海建鹿云龙

申请人：

四川神光石英科技有限公司

申请人地址：

四川省绵阳市江油工业园区创元路南段科技孵化园

代理机构：

成都欣圣知识产权代理有限公司

代理人：

王海文

优先权：

CN201920787116.2

主分类号：

C03B20/00

IPC分类号：

C03B20/00