一种基于零位校正的微机械MEMS加速度计
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于零位校正的微机械MEMS加速度计，包括：基片，基片上设有氧化层，若干个锚点通过氧化层固定在基片上，氧化层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：差动电容检测结构、加速度计闭环反馈电极结构、若干个悬臂梁、零位校正结构、敏感质量块、2个止挡结构、2个固定结构；通过对加速度计结构的设计可以校正结构由于加工误差、安装误差以及环境温度等变化带来的零位输出变化不一的问题，消除由于零位变化对器件稳定性、温度特性等性能造成的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种基于零位校正的微机械MEMS加速度计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920791579.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-29
授权号 ：
CN209746002U
授权日 ：
2019-12-06
发明人 ：
雷龙海周骏王龙峰王志山永启
申请人 ：
四川知微传感技术有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区（西区）天辰路88号4栋三单元4层
代理机构 ：
成都行之专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
熊曦
优先权 ：
CN201920791579.6
主分类号 ：
G01P15/08
IPC分类号 ：
G01P15/08 G01P15/125 G01P15/13
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
法律状态
2019-12-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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