微机械硅谐振梁加速度计
专利权的终止
摘要

本发明是一种微机械硅谐振梁加速度计,是基于微电子机械技术(MEMS)加工而成,由Pyrex7740#玻璃基片、硅质量块、双谐振梁、四根支撑梁、锚点及电极引线组成,硅结构上下左右完全对称。质量块在加速度作用下受到的惯性力通过力-应力转换结构传递到谐振梁上,改变梁的轴向机械应力,双梁结构设置可保证其感受相反方向的应力,使一个梁的谐振频率增加而另一个梁的谐振频率下降,通过检测双梁谐振频率差,实现加速度测量。本发明采用独特的力-应力转换结构及双梁对称结构,制作简单,并有效提高加速度计检测灵敏度及抗干扰能力。

基本信息
专利标题 :
微机械硅谐振梁加速度计
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1979175A
申请号 :
CN200510125708.0
公开(公告)日 :
2007-06-13
申请日 :
2005-12-01
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈德勇陈健王军波
申请人 :
中国科学院电子学研究所
申请人地址 :
100080北京市海淀区北四环西路19号
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
周国城
优先权 :
CN200510125708.0
主分类号 :
G01P15/097
IPC分类号 :
G01P15/097  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量;运动的存在或不存在的指示;运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S;核辐射速度的测量入G01T)
G01P15/00
测量加速度;测量减速度;测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/097
采用振动元件
法律状态
2011-02-16 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101037113087
IPC(主分类) : G01P 15/097
专利号 : ZL2005101257080
申请日 : 20051201
授权公告日 : 20081231
终止日期 : 20100104
2008-12-31 :
授权
2007-08-08 :
实质审查的生效
2007-06-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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