基于静电平衡的量程自适应谐振式加速度计及系统和方法
公开
摘要
本发明公开了一种基于静电平衡的量程自适应谐振式加速度计及系统和方法，通过增设多组梳齿可动极板与梳齿固定极板并进行可编程控制，基于静电刚度软化机理及静电平衡闭环反馈机理，调节梳齿固定极板处施加偏置电压大小，利用静电力补偿质量块所受加速度影响产生的惯性力，最终使振荡器频率始终稳定在一定范围内，巧妙扩大了加速度计能够有效测量的范围，实际应用时具有量程自适应性，解决了量程和分辨率相互制约的技术难题，开拓了谐振式加速度计在高精尖领域的更好应用。
基本信息
专利标题 ：
基于静电平衡的量程自适应谐振式加速度计及系统和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114594280A
申请号 ：
CN202210215362.7
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
韦学勇张益秋
申请人 ：
西安交通大学
申请人地址 ：
陕西省西安市咸宁西路28号
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
贺小停
优先权 ：
CN202210215362.7
主分类号 ：
G01P15/097
IPC分类号 ：
G01P15/097
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/097
采用振动元件
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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