动热源摆式全方位微机械加速度计
授权
摘要
本申请公开了一种动热源摆式全方位微机械加速度计，该加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和四对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形辐条悬置在敏感层的中心位置；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现加速度全方位的测量，灵敏度高，响应速度快，结构应力小、体积小、重量轻，可实现批量生产。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，使得其与固体摆式微机械加速度计竞争中、低精度和低价格的微型加速度计市场成为可能。
基本信息
专利标题 ：
动热源摆式全方位微机械加速度计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122910171.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
CN216449608U
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
朴林华李备王灯山佟嘉程
申请人 ：
北京信息科技大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清河小营东路12号
代理机构 ：
北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张宇锋
优先权 ：
CN202122910171.6
主分类号 ：
G01P15/12
IPC分类号 ：
G01P15/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/12
应用电阻值的改变
法律状态
2022-05-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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