本发明涉及一种机械手臂的校正方法，包括：提供校正装置，所述校正装置包括治具晶圆；使用机械手臂抓取和/或传送所述治具晶圆，以得到采集数据；基于所述采集数据判断是否需要对所述机械手臂进行校正；当需要对所述机械手臂进行校正时，根据所述采集数据得到补偿值，并基于所述补偿值对所述机械手臂进行校正。上述机械手臂的校正方法，无需人工使用外接手柄和校正治具进行操作，可避免手动校准导致的误操作风险，减少由于误操作而造成的额外损失，从而提高机械手臂校正过程的准确性；同时本申请提供的机械手臂的校正方法，无需打开腔室即可完成校正，在校正完成后也无需进行复机工作，可以有效地减少机台的宕机时间，提升机台工作效率。