一种机器手臂的坐标系校正设备及校正方法，该校正设备包括处理器、对位装置及机器手臂，对位装置可获取三维空间中的影像，机器手臂于法兰面上设置有工具。处理器记录在手臂末端坐标系与机器人坐标系间转换的第一矩阵，并通过对位装置获取的影像执行工具校正程序以获得在工具坐标系与手臂末端坐标系间转换的第二矩阵。处理器依第一及第二矩阵计算工具中心点在机器人坐标系上的相对位置，并控制工具中心点在三维空间中执行三点定位程序以将对位装置坐标系的点位作为工具中心点的点位，并计算对位装置坐标系的点位于机器人坐标系上的相对位置。