机器人手臂的校正系统
授权
摘要
一种机器人手臂的校正系统，机器人叶片用于持住晶圆，透过机器人手臂将晶圆传送至腔室，其特征在于，机器人手臂的校正系统包括校正治具及对准治具。校正治具具有激光模块及孔道，校正治具的孔道设置于机器人叶片的第一凹槽内，校正治具的激光模块设置于机器人叶片上，激光模块透过孔道发射激光。对准治具设置于腔室内，对准治具对准于校正治具，并接收由所述激光模块透过校正治具的孔道所发射的激光，利用激光当作定位点，在更换机器人手臂时，对准激光的定位点以完成机器人手臂的位置校正。以实现快速准确地校正步骤。
基本信息
专利标题 ：
机器人手臂的校正系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922125123.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-02
授权号 ：
CN211517542U
授权日 ：
2020-09-18
发明人 ：
江羿鋐吴俊鹏
申请人 ：
吴俊鹏;陈纪宇
申请人地址 ：
中国台湾新竹市北区延平路一段261巷8弄18号
代理机构 ：
上海申新律师事务所
代理人 ：
董科
优先权 ：
CN201922125123.9
主分类号 ：
B25J19/00
IPC分类号 ：
B25J19/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J19/00
与机械手配合的附属装置，例如用于监控、用于观察；与机械手组合的安全装置或专门适用于与机械手结合使用的安全装置
法律状态
2020-09-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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