用于真空镀膜机的二维镀膜转架
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的二维镀膜转架,包括一维转动盘,一维转动盘上装有动力输入轴,沿一维转动盘的圆周装有多个转杆,每个转杆上固装有镀膜工件圆盘,与一维转动盘平行的圆环形盖板装在所述多个转杆的顶端,还包括有与一维转动盘平行且位于其下方的定齿盘,所述动力输入轴通过定齿盘轴承装于定齿盘的中心位置,动力输入轴的输入端伸至定齿盘的下方;多个所述转杆分别通过转杆轴承间隔均布装在一维转动盘的圆周上,每个转杆的顶端具有转杆轴,每个转杆以其顶端的转杆轴可转动地装在所述圆环形盖板上,每个转杆的底端固装有与所述定齿盘相啮合的底齿轮。应用本实用新型后对工件的镀膜效率较高、工件表面所镀膜层也相对均匀。

基本信息
专利标题 :
用于真空镀膜机的二维镀膜转架
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920796095.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-30
授权号 :
CN210001926U
授权日 :
2020-01-31
发明人 :
关秉羽
申请人 :
辽宁鑫金铂科技有限公司
申请人地址 :
辽宁省铁岭市铁岭县工业园区懿路工业园
代理机构 :
铁岭天工专利商标事务所
代理人 :
靳万清
优先权 :
CN201920796095.0
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50  C23C14/35  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-08-18 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/50
登记生效日 : 20200729
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 辽宁鑫金铂科技有限公司
变更后权利人 : 辽宁北宇真空科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 112600 辽宁省铁岭市铁岭县工业园区懿路工业园
变更后权利人 : 112600 辽宁省铁岭市铁岭县工业园区懿路工业园
2020-01-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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