一种靶材平面工件的喷涂设备
授权
摘要
本实用新型涉及靶材喷涂设备技术领域，尤其是指一种靶材平面工件的喷涂设备，包括工作平台、位于工作平台上方的喷枪及用于控制喷枪的喷涂轨迹的控制系统，控制系统包括独立于工作平台的主控柜、及分别安装于工作平台的X轴电机和Y轴电机，主控柜内设置有PLC上位机、X轴电机驱动器和Y轴电机驱动器，PLC上位机用于配置X轴电机驱动器和Y轴电机驱动器的输入参数和控制模式，X轴电机驱动器和Y轴电机驱动器分别匹配连接X轴电机和Y轴电机，X轴电机和Y轴电机分别驱动连接喷枪。本实用新型大大减轻了操作人员的劳动强度，提高了生产效率，可实现大批量生产。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材平面工件的喷涂设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920801536.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-30
授权号 ：
CN210085558U
授权日 ：
2020-02-18
发明人 ：
李兵
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
林晓宏
优先权 ：
CN201920801536.1
主分类号 ：
C23C4/134
IPC分类号 ：
C23C4/134
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4/00
熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆（堆焊入B23K，例如B23K5/18，B23K9/04
C23C4/04
以镀覆材料为特征的
C23C4/134
等离子喷涂
法律状态
2020-02-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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