初始转角误差可调节的微纳平台

授权

摘要

本实用新型公开了初始转角误差可调节的微纳平台，所述微纳平台包括：平台(1)、压电陶瓷驱动器(2)、连接块(3)、第一固定端(5)、第二固定端(6)、第一放大杠杆(7)、第二放大杠杆(8)、第一连接板簧(9)、第二连接板簧(10)、导向板簧(11)、中心平台(12)、光栅读数头(13)、光栅玻璃尺(14)、第一压块(15)、第二压块(16)、支架(17)、预紧弹簧(18)、预紧螺钉(19)；通过本微纳平台的可调节方式能够对存在的缺陷进行补偿。

基本信息

专利标题：

初始转角误差可调节的微纳平台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920813350.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-31

授权号：

CN209674881U

授权日：

2019-11-22

发明人：

李建明王国伟沈显峰陈金明党永坤

申请人：

中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

申请人地址：

四川省绵阳市绵山路64号

代理机构：

成都行之专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

熊曦

优先权：

CN201920813350.8

主分类号：

G12B5/00

IPC分类号：

G12B5/00