本实用新型公开了一种晶圆参数测量仪预定位校准台，包括机座和支撑台，所述机座顶端固定连接有支撑台，所述支撑台顶端固定设有校准台，所述校准台顶端固定设有承载台，所述承载台内侧壁固定连接有支撑板，所述支撑板表面固定连接有缓冲层，所述承载台两侧均固定连接有内螺纹套筒，所述内螺纹套筒内部活动连接有一号螺纹柱，所述校准台顶部固定设有滑动槽，所述滑动槽内部滑动连接有滑动凸起，所述支撑台内部固定连接有轴承。本实用新型设计新颖，结构简单，便于操作人员对晶圆进行校准，从而能够有效的提升装置在对晶圆进行测量时的准确度，且操作较为简单，便于操作人员对装置进行使用，进一步提升了装置的实用性能，适合被广泛推广和使用。