一种硅片磨片支撑架
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片磨片支撑架，包括安装座，所述安装座底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑块，且安装座顶部一侧外壁通过螺栓固定有固定柱，所述固定柱一侧外壁通过螺栓固定有电动滑轨，且电动滑轨底部内壁滑动连接有滑块，所述滑块正面和背面外壁均通过固定架连接有同一个支撑架，所述滑块远离固定柱一侧外壁通过螺栓固定有支架，且支架顶部外壁通过螺栓固定于支撑架底部外壁上，所述支撑架顶部外壁通过螺钉固定有垫板，且支撑架两侧外壁均通过螺栓固定有废料槽。本实用新型能够对支撑架进行有效固定，满足了不同规格硅片磨片的研磨需要，避免了硅片磨片在研磨时出现微移的问题，从而提高了其研磨的质量。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片磨片支撑架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920890999.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-12
授权号 ：
CN210335533U
授权日 ：
2020-04-17
发明人 ：
李杰朱棣于友刘世伟石坚
申请人 ：
山东九思新材料科技有限责任公司
申请人地址 ：
山东省济宁市泗水县泗河街道泉济路23号
代理机构 ：
济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
曹媛媛
优先权 ：
CN201920890999.X
主分类号 ：
B24B37/34
IPC分类号 ：
B24B37/34 B24B37/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/34
附件
法律状态
2020-04-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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