镀膜治具
授权
摘要
本实用新型提供了一种镀膜治具，涉及溅射镀膜技术领域，本实用新型提供的镀膜治具包括：承载组件和压片组件，承载组件设有外凸圆柱面，压片组件与承载组件可拆卸地连接；当压片组件与承载组件连接时，压片组件抵接外凸圆柱面，且沿外凸圆柱面的圆周方向弯曲；压片组件用于连接可弯曲变形的镀膜基片，并使镀膜基片沿外凸圆柱面的圆周方向弯曲，本实用新型提供的镀膜治具缓解了使用旋转式溅射镀膜机加工大尺寸镀膜基片的成片率低下的技术问题，能够使镀膜基片的镀膜面由平面转变为圆柱面，有利于降低镀膜散差，提高大尺寸镀膜基片的成片率。
基本信息
专利标题 ：
镀膜治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920909701.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-17
授权号 ：
CN210140621U
授权日 ：
2020-03-13
发明人 ：
陆张武徐征驰黄敏王迎李恭剑
申请人 ：
浙江晶驰光电科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省台州市椒江区开发大道东段2198号一期联合厂房3楼-A
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
李青
优先权 ：
CN201920909701.5
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-03-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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