一种镀膜治具
授权
摘要
本实用新型涉及磁控溅镀设备领域，具体涉及一种镀膜治具，包括：包括：治具本体、架高块、固定座；所述治具本体的上端面设有限位槽，产品嵌入配合放置在限位槽内部；所述限位槽内面设置有硅胶防滑垫；所述架高块的上端连接治具本体下端面，下端插入固定在固定座；所述固定座固定在输送台车上。采用本实用新型，可架高治具本体与产品，使得电浆气团与镀膜粒子更加充分作用于产品，增加侧壁膜厚，提升整体镀膜效果。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020691733.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-29
授权号 ：
CN212426166U
授权日 ：
2021-01-29
发明人 ：
游秀屏游敬峰
申请人 ：
柏霆（苏州）光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州高新区木桥街1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020691733.5
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-01-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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