一种基板定位装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型提供一种基板定位装置,包括承载部以及用于侦测基板位置的侦测机构,所述承载部包括承载所述基板的承载平台以及使该承载平台得以相对水平面倾斜的倾斜组件;所述承载平台具有相邻的第一侧边和第二侧边,所述侦测机构位于所述第一侧边以及第二侧边的连接处;所述承载平台上设有滚动组件,其位于所述承载平台靠近所述基板的一侧,所述基板设置于所述滚动组件上,所述倾斜组件驱使所述承载平台朝向所述侦测机构的方向倾斜以使得所述基板朝向所述侦测机构方向移动。通过改变基板与承载平台的接触方式,减小接触面积,降低摩擦力,使得基板能够移动到指定位置,进而减少机台故障率,节省人力,提供效率。

基本信息
专利标题 :
一种基板定位装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920910972.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-18
授权号 :
CN209993584U
授权日 :
2020-01-24
发明人 :
田思琦
申请人 :
昆山龙腾光电有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201920910972.2
主分类号 :
H01L21/68
IPC分类号 :
H01L21/68  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2020-04-28 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/68
变更事项 : 专利权人
变更前 : 昆山龙腾光电有限公司
变更后 : 昆山龙腾光电股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215301 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号
变更后 : 215301 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号
2020-01-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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